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上海新陽:1400光刻機(jī)安裝調(diào)試基本完畢

來源:貼片電容 發(fā)布時(shí)間:2022-04-15 瀏覽:411

4月12日,上海新陽在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機(jī)安裝調(diào)試基本完畢。


圖片

圖:上海新陽


上海新陽表示,公司研發(fā)費(fèi)用投入超2億元,且主要系光刻膠項(xiàng)目研發(fā)和參與的國家重大科技項(xiàng)目研發(fā)費(fèi)用。


資料顯示,上海新陽目前主要從事兩類業(yè)務(wù):一類是集成電路制造及先進(jìn)封裝用關(guān)鍵工藝材料及配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù),并為客戶提供整體化解決方案;另一類是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù),并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務(wù)解決方案。


其主要產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶圓制造及先進(jìn)封裝用電鍍液及添加劑、半導(dǎo)體晶圓制造用清洗劑、半導(dǎo)體封裝用電子化學(xué)材料、半導(dǎo)體制造用高端光刻膠產(chǎn)品、半導(dǎo)體配套設(shè)備產(chǎn)品。


上海新陽迄今承擔(dān)國家02專項(xiàng)研發(fā)項(xiàng)目有:“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”、“20-14nm先導(dǎo)產(chǎn)品工藝開發(fā)”項(xiàng)目任務(wù)課題“高速自動(dòng)電鍍線研發(fā)與產(chǎn)業(yè)”項(xiàng)目、“銅互連電鍍工藝技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)”等。



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