8月2日，中國國際招標網顯示，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯閎揚公司和嘉芯迦能公司成功中標上海積塔半導體特色工藝生產線項目10臺刻蝕設備。

圖：萬業(yè)企業(yè)

其中嘉芯閎揚公司中標1臺金屬等離子刻蝕機、4臺氮化硅等離子刻蝕機；嘉芯迦能公司中標2臺金屬等離子刻蝕機和3臺側墻等離子刻蝕機。

近期，萬業(yè)企業(yè)旗下快速熱處理設備（RTP）、薄膜沉積設備、刻蝕設備已相繼成功躋身上海積塔特色工藝產線。

圖：上海積塔中標公告

7月29日，據上海積塔半導體設備中標結果公告顯示，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯迦能公司成功中標上海積塔半導體有限公司特色工藝生產線建設項目7臺薄膜沉積設備，包括6臺高密度等離子薄膜沉積設備(HDP-CVD)和1臺二氧化硅等離子薄膜沉積設備(PECVD)。

今年上半年，萬業(yè)企業(yè)及控股子公司累計新增集成電路設備訂單超7.5億元，集成電路專用設備制造業(yè)務收入較上年同期增加約150%，主要受益于中國本土集成電路晶圓廠加速擴產，旗下低能大束流離子及高能注入機順利完成客戶交付，多家客戶新簽設備采購訂單等因素影響。

圖：凱世通寬幅大束流離子注入機

現階段，萬業(yè)企業(yè)正向集成電路前道設備領域加速部署。公司控股子公司凱世通在2022年度第一季度獲得重要客戶多臺12英寸集成電路設備的批量訂單，包含低能大束流離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機。

4月下旬，凱世通進入上海市經信委首批復工復產白名單，向客戶順利交付了批量訂單中的首批多套大束流離子注入機，后續(xù)將按期交付節(jié)奏穩(wěn)定出貨。

2021年迄今，凱世通研發(fā)的4種不同型號的離子注入機設備已相繼在客戶端成功取得驗證及驗收，包括低能大束流離子注入機、低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機以及高能離子注入機。